编号
zgly0000320471
文献类型
期刊论文
文献题名
10A/500V MCT器件的研制
作者单位
中南林学院电子信息工程学院
西安理工大学自动化学院
母体文献
世界电子元器件
年卷期
2003,(9)
页码
36-37,42
年份
2003
分类号
TN34
关键词
MOS控制晶闸管
功率器件
结构设计
工艺流程
工作原理
电学参数设置
文摘内容
本文叙述了新型功率器件MCT(MOS控制晶闸管)的结构设计、工艺流程及实施方法。西安徽电子研究所采用扩散、硅栅自对准工艺和多层介质隔离等技术制成MCT样品。测试结果表明, 其在20V的栅压下能在4μs内关断50A/cm^2的阴极电流。