一种精密测量显示控制系统的设计

编号 zgly0001413606

文献类型 期刊论文

文献题名 一种精密测量显示控制系统的设计

作者 郭嘉昒  何伟明  钟伦超 

作者单位 四川科技职工大学  清华大学精密仪器与机械学系 

母体文献 木材加工机械 

年卷期 2012年04期

年份 2012 

分类号 TS642 

关键词 精密测量  光栅尺  微动平台  反馈控制  设计 

文摘内容 精密测量技术是精密工程领域的一项重要研究内容。本文利用微动平台,二次开发控制软件,进行精密控制。为了克服回程误差,选择精度更高的光栅尺进行测量,整个测量系统组成伺服反馈系统,测量软件上进行闭环,一键设定到位,精度能达到0.2μm,适合于各种单自由度或多自由度小载荷精密移动领域。