工艺参数对化学气相沉积ZrC涂层形貌和组分的影响

编号 zgly0001391949

文献类型 期刊论文

文献题名 工艺参数对化学气相沉积ZrC涂层形貌和组分的影响

作者 刘巧沐  张立同  刘佳  成来飞 

作者单位 西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室 

母体文献 复合材料学报 

年卷期 2010年05期

年份 2010 

分类号 TG174.4 

关键词 化学气相沉积  碳化锆  涂层  工艺参数  形貌  作用机制 

文摘内容 利用ZrCl4-Ar-CH4-H2体系,采用化学气相沉积法(CVD)制备了ZrC涂层。研究了不同基底、沉积温度、先驱体中CH4与ZrCl4浓度比(C/Zr)对涂层形貌、物相和组分的影响规律和作用机制。结果表明,不同基底对该体系沉积的ZrC涂层形貌没有显著影响。沉积温度对ZrC涂层形貌影响较大,当温度从1100℃增加到1350℃时,涂层形貌由片状转变到荔枝状,且涂层中的C含量随温度的升高而增加。先驱体中的C/Zr比对涂层形貌和组分也有重要影响,当C/Zr比从8.5减小到3.5时,涂层由疏松多孔形貌经菜花状向玻璃态形貌演变,且涂层中的C含量随C/Zr比的减小而减少。